BMIF Series    ​

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특 징

    • BMIF는 외부로부터 전파되는 진동을 isolation 하여 반도체 및 TFT-LCD공장에서 사용되는 초정밀 생산 및 검사장비에 사용이 적합한

        시스템이다
    • Concrete pad 하부에 장착되는 Elastomer Pad(R Type) 혹은 Air Isolator(I Type)는 높이 조절 및 능동제어 방법으로 제진대를 동시에

        수행하는 첨단의 제진 시스템이다
    • BMIF는 장비의 대형화와 가동/검사 정밀도의 향상으로 인한 엄격한 진동 허용 규제치를 개선 시킬 뿐만 아니라, 또한 장비 자체에서

        발생되는 동적 하중을 효과적으로 제어하고 장비 지지부의 마이크로 수준의 정적 밸런싱에 의한 동적 안정성을 확보 함으로써

        생산/검사 장비의 내외부 진동 문제로 기인하는 제품 수율 및 생산성을 극대화 할 수 있는 초정밀 진동 제어 시스템이다
    • SIZE는 고객이 요구하는 사양에 맞추어 주문 제작 됨

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적용장비

    • STEPPER
    • SEM
    • MASK ALIGNER
    • E-BEAM LIGHTOGRAPHY
    • BONDING MACHINE

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BMIF Type Vibration Effect

	YMEP	TYPE
	0.5~4	Load daN/cm²
	18	Thickness mm
	0.8	Coefficient of friction µ