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BMST Series (SUS type)
특 징
• SUS304를 사용 반도체/연구실 등 Particle이 발생하면 안되는 장소에 사용가능
• 내부 Air Isolator 매립으로 측정시 발생하는 외부의 진동을 차단하여 Image의 흔들림을 방지할 수 있음
• Auto Leveling System을 사용하여 자동으로 수직 및 수평방향 제진가능
• 제진 영역/일반 Worktable 겸용 가능
• 하부 Undershelf 및 서랍 장착이 가능하여 수납공간으로 활용 가능
• natural frequency : Horizontal (2.5Hz) 10Hz(-18db), Vertical (2Hz) 10Hz(-20db)
적용장비
• PROBE STATION, MICROSCOPE
• 3차원측정기
• XRF. VISION SYSTEM. 기타정밀기기
제진 성능
종 류
ARMREST TYPE | WORKSPACE TYPE | |||||
MODEL | SIZE(WⅹD) | Adapt Machine | MODEL | SIZE(WⅹD) | Work space | Adapt Machine |
BMST-600ⅹ900 | 600ⅹ900 | 3차원 측정기 | BMST-600ⅹ900-R600 | 600ⅹ900 | 600 | 3차원 측정기 |
BMST-800ⅹ800 | 800ⅹ800 | Veeco Profiler | BMST-800ⅹ800-R600 | 800ⅹ800 | 600 | Veeco Profiler |
BMST-900ⅹ700 | 900ⅹ700 | Probe station | BMST-900ⅹ700-R600 | 900ⅹ700 | 600 | Probe station |
BMST-900ⅹ900 | 900ⅹ900 | Probe station | BMST-900ⅹ900-R600 | 900ⅹ900 | 600 | Probe station |
BMST-1000ⅹ800 | 1000ⅹ800 | TMS | BMST-1000ⅹ800-R600 | 1000ⅹ800 | 600 | TMS |
BMST-1000ⅹ900 | 1000ⅹ900 | CV-PLOT | BMST-1000ⅹ900-R600 | 1000ⅹ900 | 600 | 조도측정기 |
BMST-1200ⅹ800 | 1200ⅹ800 | NANO SCOPE | BMST-1200ⅹ900-R600 | 1200ⅹ800 | 600 | 진원도측정기 |
• 하기 제품외의 size도 주문사양으로 공급 가능함
외형도
ARMREST TYPE | TOPCOVER TYPE |
|
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