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특   징

    • Atuto Leveling systemd을 사용하여 자동으로 수직과 수평방향 제진이 가능함
    • 내부 오리피스 외에 외부의 가변 오리피스를 이용해 Rolling 및 안정화 시간을 잡아줌
    • 고중량, 초고속 X-Y Stage의 제진에도 사용가능
    • Leveling 반복 정밀도(±0.05 ~ ±0.1㎜)가 우수한 L/V사용
    • 기본적으로 Hard Oiless Damper를 내장하여 X-Y Stage
    • 이동시 Setting Time을 단축시켜 장비 Tact Time을 줄여 줄 수 있음

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용  도

    • X-Y Stage가 장착된 정밀 장비
    • 반도체 제조/검사장비
    • 액정 검사 장비
    • Laser Repair / Inspection M/C
    • SEM / TEM
    • 광학기기 / 정밀가공기기 등

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General Specification

   • Natural Frequency : Vertical (2Hz) 10Hz(-20db), Horizontal (2.5Hz) 10Hz(-28db)
   • Setting Time : 2~3sec (100A㎛이하)
   ⇒ 장비조건 및 지반 환경에 따라 달라질 수 있음

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제진 성능 및 안정화 시간

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종  류

• 제시된 제품외의 Size도 주문 사양으로 공급 가능함.  • 최대적용하중은 공기압 3bar 기준임.

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외형도