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BOM - S type (Sleeve Type)
BOM-S Series (Sleeve Type)
• Compact Size로 Location을 많이 차지하지 않음
• Atuto Leveling systemd을 사용하여 자동으로 수직및 수평방향 제진이 가능
• 내부 오리피스 외에 외부의 가변 오리피스를 이용해 Rolling 및 안정화 시간을 잡아줌
• 저중량, 저속과 고속 X-Y Stage의 제진에도 사용가능
• 일체형 L/V를 사용하며 Leveling 반복 정밀도(±0.05 ~ ±0.1㎜)가 우수한 L/V사용
• Natural Frequency : Horizontal : 3.0Hz 10Hz(-15db), Vertical 2.5Hz 10Hz(-18db)
적용장비
• 반도체 제조 / 검사 장비
• LCD제조 / 검사 장비
• SEM.TEM 3차원 측정기
제진 성능 및 안정화 시간
HD-TYPE ISOLATION EFFICIENCY | HD-TYPE SETTING시간 |
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|
종 류
MODEL | BOM-S-30 | BOM-S-50 | BOM-S-75 | BOM-S-100 |
외형치수(D*H㎜) | ∮87*54 | ∮87*54 | ∮110*60 | ∮ 110*60 |
Max Load capa(kg/ea) | 30 | 50 | 75 | 100 |
Product Weight(kg/ea) | 3 | 5 | 7 | 10 |
외형도
