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BVIM - M type
BVIM-M Type 사양서
• BVIM-M Series는 신규장비 및 기존장비에 제진이 필요한 경우 하부 Frame과 상부 장비 Base와의 사이에 설치하기가 용이하며,
제진성능, 감쇠 능력, Setting Time이 우수하며 X-Y Stage를 사용하는 초정밀 측정 검사 장비에 적합한 Isolator 입니다.
• BVIM-M은 직접 장비에 설치하여 성능 확인 및 구매 전 TEST도 가능합니다.
특 징
• X-Y Stage 이동시 Setting Time을 최소화한다.
• 고중량을 제진하기 위하여 제진 성능이 저하되는 것을 방지한다.
• Setting Time 과 제진 성능을 동시에 만족 시킬 수 있다.
• Isolator 와 Auto Leveling Valve의 공압적인 상반 관계를 자유로이 제어한다.
• 제진성능과 강성을 만족시켜 장비의 성능과 생산성을 향상 시킨다.
• X-Y Stage 이동이 빠르고 Stage의 신속한 복귀를 원하는 LCD 및 PDP 검사 장비에 알맞는 제품이다.
General Specification
• Natural Frequency : Vertical / Horizontal Natural Frequency : 2.5 ~ 3Hz
• Vibration Isolation : Pnematic Isolation Type
• Damping : Air Damping by Orifice
• Leveling : Auto Leveling by 3-Point Leveling Valve
• Leveling Repeatability : ±0.01mm / ±0.05mm
• Air Supply :4 ~ 6kg㎠ Compressed Air or Nitrogen Gas
• Setting time : 1.0 ~ 1.5/sec
★ 내장형 Oil Damper 및 외장형 Oil Damper 사용가능
종 류
MODEL | 외형치수 | 고정볼트간격 | WEIGHT | 고정볼트 홀 | 제품중량 | 비 고 |
BVIM-M-100 | 180*180*170 | 160 | 100kg | ∮ 10 | 11 |
|
BVIM-M-300 | 200*200*170 | 180 | 300kg | ∮ 10 | 14 |
|
BVIM-M-600 | 240*240*170 | 210 | 600kg | ∮ 10 | 22 |
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BVIM-M-900 | 270*270*190 | 230 | 900kg | ∮ 14 | 38 |
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BVIM-M-1200 | 290*290*190 | 260 | 1200kg | ∮ 14 | 46 |
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BVIM-M-1500 | 320*320*190 | 290 | 1500kg | ∮ 14 | 53 |
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BVIM-M-2000 | 370*370*190 | 340 | 2000kg | ∮ 18 | 57 |
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BVIM-M-2500 | 390*390*190 | 360 | 2500kg | ∮ 18 | 68 |
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BVIM-M-3000 | 440*440*190 | 410 | 3000kg | ∮ 18 | 85 |
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BVIM-M-4000 | 520*520*190 | 490 | 4000kg | ∮ 18 | 90 |
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BVIM-M-5000 | 560*560*190 | 530 | 5000kg | ∮ 18 | 95 |
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BVIM-M-6000 | 604*604*190 | 574 | 6000kg | ∮ 18 | 120 |
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BVIM-M-8000 | 684*684*190 | 644 | 8000kg | ∮ 22 | 150 |
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BVIM-M-10000 | 754*754*190 | 714 | 10000kg | ∮ 22 | 170 |
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외형도
진동 전달율
