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    • 특수한 수평 제진 기구를 사용하여 수직/수평 방향 모두 고성능 제진이 가능함.
    • 내부 오리피스 외에 외부의 가변 오리피스를 이용해 제진성능과 댐핑 기능을 튜닝 할 수가 있다.
    • 고중량, 초고속 X-Y Stage의 제징에도 사용 가능함.
    • 상하판에 장비와 조립 될 수 있도록 고정용 볼트 구멍이 있음.
    • 레벨링 반복 정밀도(±0.05 ~ ±0.1㎜)가 우수한 레벨링 밸브를 사용함.
    • 옵션품인 A.O.V밸브를 같이 사용하면, 고중량의 Stage가 이동시 테이블의 수령/수직 방향의 복귀가
      조속히 이루어지도록 제진 유니트의 공기량을 조속히 제어할 수 있음.
    • 옵션품인 오일댐퍼와 같이 사용하면, X-Y Stage 이동시 테이블의 움직임을 최소화 하고 복귀 시간을
      빠르게 하여 강성을 증대 시킴.

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용  도

    • X-Y Stage가 장착된 정밀 장비.
    • 반도체 / 평판 디스플레이용 초정밀 검사 측정 장비.
    • 초정밀 광학 레이저 장비.
    • 기타 정밀 계측장비.
  

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General Specification

    • Natural Frequency : Vertical / Horizontal Natural Frequency : 1.2 ~ 1.5Hz
    • Vibration Isolation : Pnematic Isolation Type
    • Damping : Air Damping by Orifice
    • Leveling : Auto Leveling by 3-Point Leveling Valve
    • Wol 정밀형 Leveling Repeatability : ±0.05mm / ±0.01mm
    • Air Supply :4 ~ 6kg㎠ Compressed Air or Nitrogen Gas
    • Setting time : 1.0 ~ 1.5/sec

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종  류

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외형도

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진동 전달율