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BVIM - F type
BVIM-F Type 사양서
• 내구성이 우수하며, 정밀기기의 제진에 경제적인 가격으로 사용됩니다.
특 징
• 밸로우즈형 공기스프링 제진방식.
• Auto Leveling System을 사용하여 자동으로 수직 및 수평방향 제진가능.
• 내부 오리피스 외에 외부의 가변 오리피스를 이용해 Rolling 및 안정화 시간을 잡아줌.
• 고중량 초고속 X-Y Stage의 제진에도 사용가능.
• 공진배율이 약 3배 정도 되는 고감쇠
• 내부에 과도 부상 방지 기구및 오일댐퍼 설치
용 도
• X-Y Stage가 장착된 정밀 장비.
• 반도체 제조/검사장비.
• 액정 검사 장비.
• Laser Repair / Inspection M/C
• SEM / TEM
• 광학기기 / 정밀가공기기 등
General Specification
• Natural Frequency : Vertical : 2.5Hz 10Hz(-20db), Horizontal : 3.0Hz 10Hz(-17db)
• Leveling : Auto Leveling by 3-Point Leveling Valve
• Leveling Repeatability : ±0.05mm / ±0.01mm
• Air Supply :4 ~ 6kg㎠ Compressed Air or Nitrogen Gas
제진 성능 및 안정화시간 | 설치 IMAGE |
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종 류
모델번호 | BMIM-G-500 | BMIM-G-1000 | BMIM-G-1500 | BMIM-G-2000 | BMIM-G-3000 |
외형치수 (WxDxH mm) | 210 * 210 * 185 | 280 * 280 * 185 | 320 * 320 * 185 | 350 * 350 * 185 | 430 * 430 * 185 |
고정볼트간격 (AxA mm) | 195 | 250 | 290 | 320 | 400 |
고정볼트홀 (ΦC mm) | Φ14 | Φ14 | Φ18 | Φ18 | Φ18 |
최대허용하중 (kg/ea) | 500 | 1,000 | 1,500 | 2,000 | 3,000 |
제품중량 (kg/ea) | 15 | 30 | 45 | 55 | 90 |
• 제시된 제품외의 Size도 주문 사양으로 공급 가능함. • 최대적용하중은 공기압 3bar 기준임.
★ 일반형 . Damper 내장형
외형도
