BVIM - T type

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특   징

    • 기존의 일반형보다 Setting Time이 짧음
    • 음향가진이나 공기흐름등의 직접적인 외란의 영향이 감소됨
    • 제진성능이 우수하면서도 강성이 양호함
    • Stage의 신속한 안정복귀로 생산성을 향상시킴
    • X-Y Stage등을 사용하는 초정밀 CEM 장비에 (특히 FPD/Semiconductor) 적합함
    • 기존형보다 5배정도 감쇠 (Damping)가 좋음

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용  도

    • X-Y 스테이지가 없는 정밀정비.
    • 반도체 / 평판디스플레이용 초정밀 검사/ 측정장비.
    • 삼차원측정기.
    • 기타 정밀 계측장비.

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기 본 사 양

    • 제진방식 : 공기스프링식.
      고유 진동수 : 1.5Hz ~ 2.0Hz.
      Roll-off Rate (10Hz) : -25dB
      댐핑 : 점성유체에 의한 댐핑 (1 chambers).
      수평유지 기능 : 3개의 정밀 레벨링 밸브.
      레벨링 반복 정밀도 : ±0.05mm ~ ±0.1mm.
      압축공기 : 4 ~ 6 kg/㎠